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简要介绍微纳尺度光学检测技术在高端工业自动化领域的应用和发展趋势，在集成电路、半导体器件、食品加工、精密加工等高端制造领域的光学测量技术和挑战。
微纳尺度自动化工业在线检测的技术和发展
【摘 要】
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简要介绍微纳尺度光学检测技术在高端工业自动化领域的应用和发展趋势，在集成电路、半导体器件、食品加工、精密加工等高端制造领域的光学测量技术和挑战。
【机 构】
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深圳中科飞测科技有限公司
【出 处】
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第十届亚洲(深圳)国际激光智能制造展暨论坛、第二届亚洲(深圳)国际工业4.0展暨论坛
【发表日期】
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2016年11期
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