【摘 要】
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在本次演讲中，我们会报告一种在线式连续镀膜(ICD)技术，可以非常理想的用于高效异质结和背钝化太阳能电池，可以非常显著的降低设备初始投资，并提升薄膜界面质量。此种ICD技术，可以用于非晶硅p、i、n层，氧化铝，氮化硅，以及各种金属和氧化物薄膜在同一真空腔内的连续沉积，而不使用机械式的门阀来隔离各种沉积工艺。此ICD技术由专业开发和制造先进真空镀膜设备的昆山迅立光电设备有限公司(迅立)进行开发，并且
【出 处】
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SNEC 第十届(2016)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
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在本次演讲中，我们会报告一种在线式连续镀膜(ICD)技术，可以非常理想的用于高效异质结和背钝化太阳能电池，可以非常显著的降低设备初始投资，并提升薄膜界面质量。此种ICD技术，可以用于非晶硅p、i、n层，氧化铝，氮化硅，以及各种金属和氧化物薄膜在同一真空腔内的连续沉积，而不使用机械式的门阀来隔离各种沉积工艺。此ICD技术由专业开发和制造先进真空镀膜设备的昆山迅立光电设备有限公司(迅立)进行开发，并且已经成功在迅立开发的卷对卷设备上进行了验证，用于在1米宽的不锈钢基板上制造柔性三结薄膜太阳能电池。
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