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采用低温静电自组装方法于TiO2薄膜上负载了纳米Pd，通过调节Pd溶胶的pH值及组装时间，可控制纳米钯的大小及负载量;纳米Pd尺寸约为5nm，于TiO2薄膜表面分布均匀。35h的真空紫外光催化降解低浓度甲醛的动态实验表明，TiO2薄膜经纳米Pd修饰后，甲醛的去除率从91.35％提高到97.78％，出气中副产物臭氧的浓度从18.1mg/m3下降到14.2mg/m3。当相对湿度为10～60％时，Pd-TiO2薄膜去除甲醛和O3的效率随着湿度的增加而提高，说明具有较强的抗湿性能。纳米Pd可转移光生电子，抑制载流子复合，因而可提高TiO2光催化氧化甲醛和还原O3的效率。