【摘 要】
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铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一.采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30-70nm MPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性优良(P=3.8μc/cm)的0-3型铁电厚膜.通过TEM、XRD、TGA-DTA、AFM等手段分析了Sol-Gel工艺的化学机制和热演化历程,结果表明:采用以乙二醇乙醚为主要溶剂的Sol-Gel
【机 构】
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中国科学院电工研究所微纳加工部(北京) 华中科技大学电子科学与技术系(湖北武汉)
【出 处】
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2003年中国纳微粉体制备与技术应用研讨会
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铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一.采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30-70nm MPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性优良(P<,r>=3.8μc/cm<2>)的0-3型铁电厚膜.通过TEM、XRD、TGA-DTA、AFM等手段分析了Sol-Gel工艺的化学机制和热演化历程,结果表明:采用以乙二醇乙醚为主要溶剂的Sol-Gel技术可降低MPBST粉体/厚膜的合成温度,提高粉体均匀性和晶相结构单一性.
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