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通过SEM观察了各个烧结温度下得到的ZAO陶瓷的断面形貌,揭示了ZAO陶瓷烧结的几个基本过程及其温度区间,并详细说明了各个阶段的显微结构特征.通过与ZnO陶瓷烧结过程的对比,揭示了Al<,2>O<,3>掺杂对烧结过程的影响.
ZAO靶材烧结机理与特征的研究
【摘 要】
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通过SEM观察了各个烧结温度下得到的ZAO陶瓷的断面形貌,揭示了ZAO陶瓷烧结的几个基本过程及其温度区间,并详细说明了各个阶段的显微结构特征.通过与ZnO陶瓷烧结过程的对比,揭
【机 构】
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清华大学机械工程系(北京)
【出 处】
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2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议既企业生产工程与产品创新专题研讨会
【发表日期】
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2001年11期
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