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ZAO靶材烧结机理与特征的研究
ZAO靶材烧结机理与特征的研究
来源 :2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议既企业生产工程与产品创新专题研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xwp1024
【摘 要】
:
通过SEM观察了各个烧结温度下得到的ZAO陶瓷的断面形貌,揭示了ZAO陶瓷烧结的几个基本过程及其温度区间,并详细说明了各个阶段的显微结构特征.通过与ZnO陶瓷烧结过程的对比,揭
【作 者】
:
范锦鹏
赵大庆
董民超
【机 构】
:
清华大学机械工程系(北京)
【出 处】
:
2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议既企业生产工程与产品创新专题研讨会
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
金属陶瓷材料
透明导电薄膜
烧结机理
氧化铝掺杂
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通过SEM观察了各个烧结温度下得到的ZAO陶瓷的断面形貌,揭示了ZAO陶瓷烧结的几个基本过程及其温度区间,并详细说明了各个阶段的显微结构特征.通过与ZnO陶瓷烧结过程的对比,揭示了Al<,2>O<,3>掺杂对烧结过程的影响.
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