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纳米印刻技术及其应用
纳米印刻技术及其应用
来源 :第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qh12121312
【摘 要】
:
纳米印刻技术在未了IC电路和纳米器件制作中有重要的应用前景.本文对纳米印刻技术及其应用研究进行了简要回顾,分析了纳米刻印技术的主要过程以及其中的关键问题,
【作 者】
:
刘泽文
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所,100084
【出 处】
:
第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
纳米
技术
应用研究
应用前景
器件制作
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纳米印刻技术在未了IC电路和纳米器件制作中有重要的应用前景.本文对纳米印刻技术及其应用研究进行了简要回顾,分析了纳米刻印技术的主要过程以及其中的关键问题,
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