【摘 要】
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固晶机是LED后封装的重要设备,其特征是高速高精度.固晶机的固晶臂是类悬臂梁的柔性机构,快速运动时会有残留振动,严重影响了固晶工艺的效率和质量.本论文针对固晶机的工艺要
【基金项目】
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国家自然科学基金资助,项目批准号:51075085
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固晶机是LED后封装的重要设备,其特征是高速高精度.固晶机的固晶臂是类悬臂梁的柔性机构,快速运动时会有残留振动,严重影响了固晶工艺的效率和质量.本论文针对固晶机的工艺要求和固晶臂的结构,研究验证了不同输入整形控制算法的控制效果,并设计了基于最优控制理论的输入整形器,保证系统既具有满意的响应速度,又能大幅减少残余振动.由于模型参数可能存在不确定性,针对频率和阻尼比我们研究比较了各种输入整形器的鲁棒性.为了更好的利用输入整形算法,我们自主设计研发了音圈电机的驱动放大器,把输入整形算法嵌入到驱动器中,仿真和实验结果验证了这一控制技术能有效地消除固晶臂系统的残余振动.
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