目前尚没有一套通用的方法或标准可以评估工业CT系统对不同尺寸类型、材料的测量精度。为了验证工业CT系统对检测件的测量精度，设计了一套评估方法，针对由国家X射线数字化成像仪器中心自主研发的9MeV高能工业CT系统和450 kV工业CT系统，设计制作了标准测量试块，利用三坐标测量机为辅助测量手段，对CT图像的线性尺寸、球面尺寸、角度尺寸、孔径尺寸和定位尺寸等进行对比测量，得到不同尺寸类型的测量误差。在不考虑尺寸类型的影响下，分别对铝、不锈钢和尼龙三种材料做了CT测量误差对比，结果表明对于这三种材料来说，材料密度越大测量精度越高。为了说明基于CT图像的逆向建模误差，设计了一种测试模块，完成该模块的三维重构，最终得出每个操作步骤建模误差。实验结果表明，本方法可验证工业CT系统对不同类型尺寸测量的精度，工业CT系统可完成精度较高的尺寸测量工作，特别对复杂结构的内部尺寸测量有一定的优势。