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通过对硅钢薄板中辉光放电行为的研究，考察激发电压、电流、预溅射时间和积分时间对光谱强度和稳定性的影响。改善试样预处理手段，优化参数为激发电压1000V，激发电流30 mA，预溅射时间60 s，积分时间30 s。以铁为基体元素，建立直流辉光放电光谱法测定冷轧硅钢薄板板中7种元素的定量分析方法。考察方法分析的精密度和准确度，元素的测定结果与其他方法结果吻合。其中Si，Mn，P，S元素的相对标准偏差小于5％。对于C和N元素，相对标准偏差分别为10．43％和12．31％。