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通过对硅钢薄板中辉光放电行为的研究,考察激发电压、电流、预溅射时间和积分时间对光谱强度和稳定性的影响。改善试样预处理手段,优化参数为激发电压1000V,激发电流30 mA,预溅射时间60 s,积分时间30 s。以铁为基体元素,建立直流辉光放电光谱法测定冷轧硅钢薄板板中7种元素的定量分析方法。考察方法分析的精密度和准确度,元素的测定结果与其他方法结果吻合。其中Si,Mn,P,S元素的相对标准偏差小于5%。对于C和N元素,相对标准偏差分别为10.43%和12.31%。