【摘 要】
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动态红外场景产生器是红外硬件闭环仿真系统的核心部件。提出了一种基于聚酰亚胺绝热层的2×16薄膜结构电阻阵列，并利用表面微机械加工技术完成了器件的制备。详细介绍了器件制备的工艺流程，重点研究了聚酰亚胺涂层胶的图形化工艺。最后，利用FLUKE T50型红外热像仪对器件的性能进行了测试，测试结果表明辐射单元表面的等效黑体辐射温度可以达到400K，能够满足中、长波红外硬件闭环仿真的需求。
【机 构】
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电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054 昆明物理研究所,云南 昆
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动态红外场景产生器是红外硬件闭环仿真系统的核心部件。提出了一种基于聚酰亚胺绝热层的2×16薄膜结构电阻阵列，并利用表面微机械加工技术完成了器件的制备。详细介绍了器件制备的工艺流程，重点研究了聚酰亚胺涂层胶的图形化工艺。最后，利用FLUKE T50型红外热像仪对器件的性能进行了测试，测试结果表明辐射单元表面的等效黑体辐射温度可以达到400K，能够满足中、长波红外硬件闭环仿真的需求。
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