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本文论述了真空紫外光是波长小于200nm的紫外线,具有较高的能量当采用低压汞灯时,伴随少量185nm真空紫外线,还有大量的254nm紫外线,臭氧在254nm光线照射也可能再分解为活性氧.当存在二氧化钛光催化剂时,真空紫外线所产生的氧化剂可替代氧气作为光生电子的捕获剂,加快光催化反应.首先开展真空紫外光催化降解水和空气中污染物的研究,本文比较了各种反应条件下甲苯的真空紫外光解和真空紫外光催化降解。