【摘 要】
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氦质谱检漏仪发展于20世纪40年代，我国的检漏仪器制造开始于60年代初，历经半个多世纪的应用和发展，取得了辉煌的成果。真空检漏发展一方面是检漏仪器本身，另一方面是检漏工艺技术
【出 处】
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第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会
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氦质谱检漏仪发展于20世纪40年代，我国的检漏仪器制造开始于60年代初，历经半个多世纪的应用和发展，取得了辉煌的成果。真空检漏发展一方面是检漏仪器本身，另一方面是检漏工艺技术的发展真空检漏技术广泛应用，显示出氦检漏的重要性和不可替代性。传统的检漏方法灵敏度低，使用烦杂，工作强度大等因素，已被高灵敏度，规范化，效率高的真空检漏技术--氦气回收检漏系统所代替并取得理想的效果。
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