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石墨烯作为一种二维薄膜材料，从发现至今，其制备、性能及应用都受到了极大的关注。相比于其他的石墨烯制备方法，化学气相沉积法(CVD)在制备大尺寸高质量的石墨烯薄膜上具有极大潜力。而金属镍作为化学气相沉积方法中应用最为广泛的过渡金属之一，它能够催化生长得到较高质量的石墨烯薄膜。本文中我们通过电子束蒸发法在石英玻璃的表明沉积得到镍薄膜，并研究了镍薄膜厚度及生长时间对CVD法石墨烯生长的影响。实验结果表明，镍薄膜的厚度及生长时间均对石墨烯的生长极为重要。镍薄膜厚度过小时，容易在石英基材表明发生去湿现象，进一步的Ostwald熟化使得镍在石英表面凝聚成小颗粒；而当镍薄膜厚度较大时，退火过程中引入较大应力使得镍薄膜极易从基材表面剥落。