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通过对半导体行业硅料拉单晶生产工艺现状调研,讨论了目前晶棒生产工艺过程中存在的问题,分析了复投桶自动化装料过程的关键技术:复投桶小车对中定位机构、复投桶小车解锁机构、复投桶小车举升机构。利用SolidWorks软件进行零件、部装件、总装件设计,并进行了虚拟仿真装配。
基于SolidWorks的复投桶小车定位解锁机构的本体设计和虚拟仿真装配
【摘 要】
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通过对半导体行业硅料拉单晶生产工艺现状调研,讨论了目前晶棒生产工艺过程中存在的问题,分析了复投桶自动化装料过程的关键技术:复投桶小车对中定位机构、复投桶小车解锁机
【机 构】
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天津环博科技有限责任公司;
【发表日期】
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2004年期
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