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磷掺杂纳米硅/二氧化硅多层膜材料的电学输运性质研究
【机 构】
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南京大学电子科学与工程学院,固体微结构物理国家重点实验室,南京,210093
【出 处】
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第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会
【发表日期】
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2016年4期
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