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本文研究了原子力显微镜作为工具纳米压痕和微细加工的实验和机理.
利用原子力显微镜的PMMA薄膜微加工实验研究
【摘 要】
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本文研究了原子力显微镜作为工具纳米压痕和微细加工的实验和机理.
【机 构】
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东南大学吴健雄实验室 南京航空航天大学机电工程学院
【出 处】
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第十一届全国磨削技术学术会议
【发表日期】
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2001年3期
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