计算机辅助装调中调整变量的选择研究

来源 :2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaobaodong2006
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调整变量的选择是计算机辅助装调的一个关键环节。研究了调整变量与失调量的求解、噪声对失调量的影响和机械执行机构的可操作性之间的关系,提出了一种选择调整变量的方法。该方法对灵敏度矩阵进行分析,将调整变量按灵敏度大小进行分类,得到不同组合灵敏度矩阵,来求解失调量。利用此方法,对离轴三镜系统进行模拟装调,结果表明,理论上只需进行一次迭代,求解出的系统待调整量即可满足装调精度要求,调整后整个系统波像差的均方根值(RMS)与理想状态之差小于0.01λ。这种方法不仅结果准确、收敛速度快,而且需要调整的自由变量少,可操作性强。
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