【摘 要】
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为了进一步理解自开关器件的基本工作原理和电学特性，本文对自开关器件进行了器件和电学特性的模拟。通过对器件施加不同偏压，得到了沟道内部电势分布图，分析了器件的整流特
【机 构】
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State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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为了进一步理解自开关器件的基本工作原理和电学特性，本文对自开关器件进行了器件和电学特性的模拟。通过对器件施加不同偏压，得到了沟道内部电势分布图，分析了器件的整流特性，从电势的角度解释了器件的工作原理。同时分析了不同器件表面参数对器件电流特性的影响：沟道宽度越大，开启电压越大，特定电压下的电流也越大：水平沟槽宽度越大，反向漏电流越大；而沟道的长宽比如果过小的话，会出现短沟道效应，影响器件的整流性能。这些模拟为今后开展自开关器件应用方面的工作提供了理论依据。
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