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<正>类金刚石薄膜(DLC)具有优异的耐摩擦性能,是一种理想的表面抗磨损改性膜[1-2]。表面相对运动摩擦很复杂,它由表面之间的短程和长程相互作用引起,包括声学、电学,甚至声学能量耗散、量子能量传递,结构相变以及各种化学过程。DLC的重要特征在于构成薄膜的主相金刚石的硬度及弹性模量远远高于杂质相sp~2杂化碳[3],使sp~2杂化不同于单晶内部或多晶膜晶粒内部的杂质缺陷对应力的影响。非晶碳膜的一个主要特点就是性质的可调性,材料的密度、sp~3杂化碳原子百分比、结构以及性质