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本文对单靶倒简式直流溅射(ICS),基片旋转两面同时溅射沉积的φ2英寸YBCO高温超导双面薄膜的面内均匀性进行了分析.
大面积双面YBCO高温超导薄膜的均匀性分析
【摘 要】
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本文对单靶倒简式直流溅射(ICS),基片旋转两面同时溅射沉积的φ2英寸YBCO高温超导双面薄膜的面内均匀性进行了分析.
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2001年期
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