【摘 要】
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为了可以采用常规的BAg72Cu-V钎料完成蓝宝石与无氧铜的连接,本研究先在蓝宝石表面镀钛/镍(Ti/Ni)复合膜,然后进行高温预扩散处理,最后将镀Ti/Ni膜蓝宝石与无氧铜在真空炉中
【机 构】
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中国科学院电子学研究所 高功率微波源与技术重点实验室 北京 100190
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
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为了可以采用常规的BAg72Cu-V钎料完成蓝宝石与无氧铜的连接,本研究先在蓝宝石表面镀钛/镍(Ti/Ni)复合膜,然后进行高温预扩散处理,最后将镀Ti/Ni膜蓝宝石与无氧铜在真空炉中进行钎焊.本文介绍了蓝宝石镀膜、扩散及焊接工艺,对镀Ti膜蓝宝石及镀Ti/Ni复合膜蓝宝石在高温预扩散前后分别进行了扫描电镜分析(SEM)和X射线衍射分析(XRD),说明蓝宝石镀Ti/Ni膜扩散后的性能将优于仅镀Ti膜,并通过对焊接接头的微观分析发现高温预扩散的优势.
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