【摘 要】
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在材料处理、医学手术、半导体制造、激光核聚变及全息术等激光应用领域,激光光束的能量分布不均匀特性限制了其应用,需将高斯光束整形成能量均匀分布的平顶激光束.目前国内大多采用非球面透镜组、二元光学元件或空间光调制器构成光束整形均化装置,而鲜有对以微透镜阵列(Microlens array,MLA)作为均化元件的激光均化器研究.微透镜阵列均化器具有结构简单、制造成本低、对入射光束变化不敏感等优点,所以研
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094 西南技术物理研究所,四川成都610041
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在材料处理、医学手术、半导体制造、激光核聚变及全息术等激光应用领域,激光光束的能量分布不均匀特性限制了其应用,需将高斯光束整形成能量均匀分布的平顶激光束.目前国内大多采用非球面透镜组、二元光学元件或空间光调制器构成光束整形均化装置,而鲜有对以微透镜阵列(Microlens array,MLA)作为均化元件的激光均化器研究.微透镜阵列均化器具有结构简单、制造成本低、对入射光束变化不敏感等优点,所以研究基于微透镜阵列的激光光束均化技术有很大的工程意义和应用价值.
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光源与掩模优化(SMO)技术同时优化光源照明模式和掩模图形,是增大工艺窗口、降低工艺因子的关键光刻机分辨率增强技术之一.基于遗传算法的SMO不需要掌握光刻流程的先验知识,可以实现对光源照明模式和掩模图形的自动优化[1].为了提高优化结果的工艺鲁棒性,降低对焦深、曝光剂量等工艺条件波动的敏感度,通常使用不同工艺条件下的适应度函数的权重和作为SMO的适应度函数.权重系数是影响优化质量的重要参数,但是其
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在现代光学系统的特性测试中透镜的长焦距是一个必须准确测量出的量.大口径的透镜由于有较高的分辨率在许多工程中都有重要的应用,但由于长焦距测量具有焦深长、焦距长、干扰大等难点,对于透镜的长焦距测量一直没能有很好的解决办法.
根据脉冲测距仪模拟检测中"时间模拟空间距离"的主导思想,距离模拟的关键在于可调节的高精度延时.综合考虑光纤延时和电路延时的优缺点后,研究了在不提高电路延时中计数频率的前提下提高延时精度的电路延时方法.通过采用内部电路延时和外部电路延时相结合的方法,设计了一种能够实时补偿延时误差的高精度可控延时电路,有效地提高了电路延时精度.最后通过高采样率的示波器对该延时电路的延时精度进行实际测量,结果表明该延时
随着多光轴武器光电系统的大量装备部队和应用,对光电系统的光轴平行性实现校准的便携式校轴仪也已经批量装备部队.便携式校轴仪的光轴平行性示值误差的大小关系到对光电系统的光轴平行性的校准准确度.为了评估便携式校轴仪的光轴平行性示值误差大小,需要研制便携式校轴仪校准装置以实现对便携式校轴仪的校准.
1.引言激光差动共焦显微镜中,测量前对样品进行准确定焦,使其位于差动共焦轴向响应曲线的线性区域,是对样品进行三维成像的重要前提.传统定焦方法定焦过程复杂、耗时长,本文提出了一种激光差动共焦轴向快速定焦方法,有效改善了差动共焦显微成像设备性能的准确快速的定焦方法.
利用数字相干探测技术对BOTDR传感系统进行解码,获得了布里渊散射谱分布.其信噪比增加和理论结果一致.
半导体前道光刻技术,采用氟化氩激光和浸液技术(ArFi)、偏振照明技术、并与多重曝光技术相结合,目前已经实现2Xnm~1Xnm节点的量产,其中偏振照明技术是浸液光刻机必备的、关键的分辨率增强技术(RET).照明光的振动方向、偏振度、偏振纯度、偏振强度等参数对实现各种不同图形的精确曝光至关重要,必须对照明光的各种偏振参数进行精确控制,而高精度偏振态检测是高精度偏振态控制的前提.
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