杂化空心二氧化硅减反射膜的制备及其性能研究

来源 :2014中国溶胶-凝胶学术研讨会暨国际论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huahongtao
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  空心SiO2纳米颗粒,由于其具备封闭的内部孔隙结构,不仅可以通过调控封闭的内部孔隙实现较低折射率的薄膜材料,同时内部孔隙能一定程度地避免传统开放孔隙材料易吸附环境中的杂质而导致的薄膜光学性能不稳定和耐候性差的问题。本文采用溶胶-凝胶法,通过溶胶的杂化实现了空心SiO2薄膜折射率大范围调控,在此基础上,制备了单层减反膜和多层渐变折射率减反膜,并系统研究和对比了多层渐变折射率与单层减反膜的光学性能、耐候性能、机械性能以及表面润湿性能。
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