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微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM，该文通过对这一技术的叙述，介绍了微差压传感器膜片型成型中的关键工艺和结果，实践证明，方法简便易行，工艺重复性、一致性好，在生产中收到实效。
微差压传感器膜片成型技术的研究
【摘 要】
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微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM，该文通过对这一技术的叙述，介绍了微差
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所(辽宁)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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