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会议论文
RPE和JGB对超级化学镀铜微孔填充影响的新体系研究
RPE和JGB对超级化学镀铜微孔填充影响的新体系研究
来源 :第十一届全国化学镀会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jie_169
【摘 要】
:
本文实验以乙醛酸为还原剂,RPE为抑制剂,JGB为加速剂,研究其对超级化学镀铜微孔填充的影响。另外本文利用X射线衍射研究了JGB的添加对化学铜膜结晶状态的影响。
【作 者】
:
沈秋仙
舒增年
王旭
【机 构】
:
丽水学院理学院,浙江丽水323000
【出 处】
:
第十一届全国化学镀会议
【发表日期】
:
2012年9期
【关键词】
:
化学镀铜技术
抑制剂
填充行为
加速剂
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本文实验以乙醛酸为还原剂,RPE为抑制剂,JGB为加速剂,研究其对超级化学镀铜微孔填充的影响。另外本文利用X射线衍射研究了JGB的添加对化学铜膜结晶状态的影响。
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