RPE和JGB对超级化学镀铜微孔填充影响的新体系研究

来源 :第十一届全国化学镀会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jie_169
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  本文实验以乙醛酸为还原剂,RPE为抑制剂,JGB为加速剂,研究其对超级化学镀铜微孔填充的影响。另外本文利用X射线衍射研究了JGB的添加对化学铜膜结晶状态的影响。
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