梯度功能压电微位移驱动器的机电行为

来源 :第五届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juyexia
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采用粉末冶金法研制了PZT系电阻率梯度压电陶瓷独石驱动器(40mm×7mm×0.8mm),研究了该驱动器的静态和动态机电响应.结果表明该驱动器主要存在四种振动模态,固有频率最低的为弯曲谐振模态;实验测得弯曲振动前五阶模态的固有频率与计算结果相吻合;当场强为10kV/cm时,自由端的静态弯曲位移达700μm.
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