【摘 要】
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晶圆可接受性测试是对晶圆成品进行的各种电气测试,半导体企业通过对测试数据分析,可以发现晶圆制程中的机台运行状态异常的问题。然而,晶圆可接受性测试作为一种延后的物理
【机 构】
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
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晶圆可接受性测试是对晶圆成品进行的各种电气测试,半导体企业通过对测试数据分析,可以发现晶圆制程中的机台运行状态异常的问题。然而,晶圆可接受性测试作为一种延后的物理量测,不能及时的侦测晶圆品质的变化。本文提出利用XGBoost对晶圆接受测试的电气参数进行在线虚拟量测,对制程偏差进行实时报警,并利用一种SMBO超参优化方法,对XGBoost虚拟量测模型进行配置优化,提升虚拟量测精度。最后通过对晶圆接受测试中的PVD电阻率的虚拟量测问题进行对比研究,验证了本文方法的优异性。
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