【摘 要】
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本文采用扫描电镜和能谱研究了不同温度下烧结的95％氧化铝陶瓷和蓝宝石(单晶氧化铝陶瓷)金属化层形貌与元素成分组成,对其金属化现象进行了实验分析.实验结果表明,低温条件(13
【机 构】
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中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心,北京100190
【出 处】
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第十七届电子陶瓷制造、陶瓷—金属封接技术交流会暨真空电子与专用金属材料分会年会
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本文采用扫描电镜和能谱研究了不同温度下烧结的95％氧化铝陶瓷和蓝宝石(单晶氧化铝陶瓷)金属化层形貌与元素成分组成,对其金属化现象进行了实验分析.实验结果表明,低温条件(1300℃)下进行烧结,95％氧化铝陶瓷和蓝宝石的金属化层成分与原金属化粉差异不大,金属化层与基体没有互溶作用.金属化层中的锰元素与氧化铝结合形成锰铝尖晶石;高温条件下(1470℃)进行烧结,金属化层中的玻璃相与95％氧化铝陶瓷玻璃相有相互扩散迁移现象;蓝宝石不含玻璃相,且蓝宝石的致密度大于95％氧化铝陶瓷,蓝宝石金属化层中的玻璃相很难向单晶结构的蓝宝石内部扩散.在实验研究的基础上提出了提高蓝宝石金屡化质量的技术措施.
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