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文章介绍了热场发射电子枪电源的工作原理与电路结构,分析了此类电源和相关控制技术的特点,论述了场发射枪电镜优秀性能的根源.文章还介绍了SEM信息接收与处理,谱分布与谱识别技术,最新离子溅射镀膜技术在SEM样品制备中的应用,基于SEM平台的开发工作.
扫描电子显微分析技术的最新进展
【摘 要】
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文章介绍了热场发射电子枪电源的工作原理与电路结构,分析了此类电源和相关控制技术的特点,论述了场发射枪电镜优秀性能的根源.文章还介绍了SEM信息接收与处理,谱分布与谱识
【机 构】
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天津大学分析测试中心,天津,300072
【出 处】
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第八次华北五省市电子显微学研讨会及第十届全国实验室协作服务交流会
【发表日期】
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2014年7期
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