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硅微球的制备是新型薄膜太阳能电池的关键技术之一。本文提出一种新的制备硅微球方法，即以太阳能级硅为原料，在液体介质中利用脉冲放电产生的局部瞬时高温形成球状硅微粒。在此基础上，采用SEM/EDS方法时其微观形貌和成分进行了表征和分析，并使用ANSYS软件对硅表面放电区域的温度场分布进行了数值模拟，掌握了硅微球的形成机理。通过改变工作液介质、电参数等工艺条件，成功制备出O.5～30μm的硅微球，并通过乙醇清洗，真空烧结炭火炉加热等后续方法进行提纯。试验结果表明，该方法具有低成本、高效、安全洁净、能量可控等特点，对于制备薄膜太阳能电池的原料硅墨水具有十分重要的研究意义。