附着于柔性基底上的纳米材料在释放基底预应变时会发生屈曲并产生规则的波形，此类波形结构能极大地增强纳米材料的变形能力，从而在柔性电子器件等领域中具有良好的应用前景。由于表面效应对纳米结构的力学响应具有显著的影响，本文研究了表面效应(包括表面弹性和残余表面应力两部分)对纳米梁在柔性基底上的屈曲行为的影响，包括面外屈曲和面内屈曲两种屈曲模式。采用考虑表面效应的纳米梁模型推导了面外屈曲和面内屈曲的波长，波幅，以及使结构发生屈曲的临界应变的理论解。根据得到的理论解，从临界屈曲应变和系统总势能的角度分析纳米梁的几何参数，物理参数，以及表面效应常数对屈曲行为的影响。分析结果表明，对于横截面尺寸和弹性模量较小的梁，残余表面应力对临界屈曲应变和系统总势能有较为显著的影响。在某些取值范围内，残余表面应力会影响结构的屈曲模式。本文采用能量准则给出了矩形截面纳米梁发生面外和面内屈曲时，残余表面应力和截面高宽比的取值范围。