LCoS器件在微投影、全息显示及光学调整器等方面有着广泛应用,而作为没有定型的研发型器件,LCoS器件以die-level方式制备具有一定的优势.首先,它制备成本低,其次,它可以在同种芯片上研发不同工作模式及不同用途的LCoS器件,再次,它能够通过液晶器件的后续工艺来对芯片设计进行验证.本文以1280×1024LCoS器件为例,重点研究了Die-level 方式LCoS制备中的关键工艺和基板表面状况对器件性能的影响,并介绍了LCoS边缘场效应对器件产生的一系列负面效应及初步改进措施,再结合ECB-LCoS相位调制器在全息显示中的应用对LCoS器件的前景做了更进一步的说明,最后,通过仿真结果揭释了蓝相液晶在LCoS器件中应用的可行性.1)为提高LCoS器件的成品率,确保LCoS器件性能,规范的工艺流程是必不可少的.在传统LCoS制备流程的基础上,对各项参数进行了优化改进,结合仿真和具体的实验结果对优化后的工艺流程进行验证.随着分辨率的提高,边缘场效应的影响不容忽视,它会造成液晶排列紊乱,影响器件的光电性能,降低显示质量.因此,我们通过模拟仿真,提出能够改善边缘场效应的措施.2)对LCoS相位调制器的进行一系列的仿真分析,匹配液晶盒结构与液晶材料,改善驱动方式,减小边缘场效应,提高像素上相位调制量的深度与精度,实时、动态、准确地对入射光进行调制,提高全息图像重建的质量.3)基于IPS电极机构,反射型蓝相液晶显示器件相较于透射型工作电压降低了约40％,随着电极厚度增大,器件的工作电压进一步降低.三角形,梯形,椭圆形,S形等不同形状的电极结构产生不同的电场分布,导致液晶分子排列不同,从而影响器件的工作电压,由最终的仿真优化结果可知,在电极形状为椭圆结构时,器件工作电压可以降低至17V,为蓝相LCoS的实现提供基础.4)为了提高液晶相位调制器件的响应时间,将蓝相液晶与LCoS相结合.通过仿真结果可知,选择大科尔系数和大饱和折射率Δns的蓝相液晶材料,并且优化盒厚大小,可以有效降低蓝相液晶相位调制器件的驱动电压至26.07V,使其在LCoS中的应用成为可能.