【摘 要】
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薄膜的光学常数、厚度以及表面粗糙度是表征薄膜宏观性质的重要物理量。本文通过全局优化算法──遗传(GA)算法来拟合软X射线反射率数据得到薄膜的光学特性参数。文章介绍了遗传算法的工作原理和薄膜参数拟合中的详细实施步骤,并对薄膜的理论计算及实验测量反射率分别进行分析,计算表明遗传算法在软X射线薄膜反射率多参数拟合中有较高的精度和较快的运算速度,可以无损获得薄膜光学特性参数,具有一定实用价值。
【机 构】
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高能物理研究所,中国科学院,100039
【出 处】
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第13届全国计算机、网络在现代科学技术领域的应用学术会议
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薄膜的光学常数、厚度以及表面粗糙度是表征薄膜宏观性质的重要物理量。本文通过全局优化算法──遗传(GA)算法来拟合软X射线反射率数据得到薄膜的光学特性参数。文章介绍了遗传算法的工作原理和薄膜参数拟合中的详细实施步骤,并对薄膜的理论计算及实验测量反射率分别进行分析,计算表明遗传算法在软X射线薄膜反射率多参数拟合中有较高的精度和较快的运算速度,可以无损获得薄膜光学特性参数,具有一定实用价值。
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