MEMS传感器模块制造工艺改善

来源 :2016北京国际SMT技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peterkong
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MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域.经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一.它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景.截止到2010年,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例.MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器.与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点.同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能.而此次生产的传感器模块为医疗领域应用.为了降本增益,降低不良率,提升品质,提高良率,进行工艺优化及改善,而此产品属于阶段性订单,更需要从精益生产出发,以最低成本进行优化提高效率,满足客户需求。从人,机,料,法,环进行逐一排除,发现手动剪脚环节,人员疲劳度大,剪钳容易损坏,插针剪脚后底端不平及尺寸偏离等现象。结合以上现象,工艺人员结合了电容整脚机的原理进行开发个剪脚设备,在开发过程中对于切刀要求精度较高(钨钢)且必须为斜口,这样设备使用寿命长,产品的引脚会得到保障。
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