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基于神经网络的扫描探针显微镜标定技术研究
基于神经网络的扫描探针显微镜标定技术研究
来源 :2007年中国科学技术协会年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wy2633110
【摘 要】
:
扫描探针显微镜在标定过程中很难准确建模,本文提出了一种基于神经网络的标定方法。根据输入值与目标值的关系建立模型,避免了从扫描探针显微镜扫描原理出发的物理建模的不确
【作 者】
:
孙鑫
费敏锐
【机 构】
:
上海大学机电与自动化学院,200072
【出 处】
:
2007年中国科学技术协会年会
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
神经网络
扫描探针显微镜
系统性能
物理建模
建立模型
不确定性
标定精度
标定过程
标定方法
输入值
目标值
原理
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扫描探针显微镜在标定过程中很难准确建模,本文提出了一种基于神经网络的标定方法。根据输入值与目标值的关系建立模型,避免了从扫描探针显微镜扫描原理出发的物理建模的不确定性对系统性能的影响,提高了标定精度。
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