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傅里叶变换红外(FTIR)和快速扫描光荧光谱(PL Mapper)技术在化合物半导体材料中的应用
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所国家电子功能及辅助材料质量监督检验中心
【出 处】
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中国电子材料行业协会半导体材料分会第四届蓝宝石、新型化合物半导体材料和人工晶体产业发展研讨会
【发表日期】
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2015年6期
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