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世界集成电路(IC)工业的产值,39年间成长了12个数量级,预计今年将达到14×10〈’11〉元(人民币)。这种规模的高速持续增长,在人类技术史上是空前的。今后,已经进入纳米加工水准的ULSI是否仍可保持过去30年的成长速度?其所面临的主要挑战是什么?该文根据美国半导体工业协会所提出的六个方面对ULSI技术的挑战性及其在21世纪初的发展趋势进行讨论。