【摘 要】
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本文研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件2SC3356造成的潜在性失效.采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356从CB结施加了一系列低电压的ESD应力,结果表明:低于损伤
【机 构】
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军械工程学院静电与电磁防护研究所,石家庄,050003
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本文研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件2SC3356造成的潜在性失效.采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356从CB结施加了一系列低电压的ESD应力,结果表明:低于损伤阈值的ESD应力可以在2SC3356中引入潜在性失效,并且连续的ESD对其有积累效应;并且低于损伤阈值的ESD应力,达到一定的电压水平和一定的次数后,2SC3356会失效.
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