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随着科学技术的发展,人们对环境中有毒气体的检测越来越重视。基于声表面波(SAW)模式的气体传感器以其灵敏度高、选择性好、响应快、体积小、成本低等特点受到了广泛的关注和研究。本文研制了一种基于两端对谐振器的应用于气体传感器的SAW振荡器,并对其频率稳定性特别是敏感薄膜材料对器件的频响特性的影响进行了分析,且与延迟线结构的振荡器性能进行了对比。在此实验中,考虑到在各种化学传感器中应用最为广泛的是聚合物膜材料(良好的选择性,成膜方式简单而广泛),因此,本实验采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为假定敏感膜,验证了以谐振器作为反馈元件的振荡器短期表现比延迟线型振荡器具有更好的频率稳定性能;另外也发现在一定敏感膜膜厚条件下,敏感膜材料对谐振器结构所导致的衰减效应并不如人们所估计的那样大,甚至比延迟线结构更低,且由于谐振器的本身损耗远低于延迟线,因此,谐振器结构可能将比延迟线结构具有更好的振荡性能,从而保证气体检测的稳定性。