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研究背景：光学器件及微电子器件的粗糙表面会引起信号的 散射。超光滑表面加工极大的推动了光学加工技术的发展。
离子束抛光玻璃微观结构分析
【摘 要】
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研究背景：光学器件及微电子器件的粗糙表面会引起信号的 散射。超光滑表面加工极大的推动了光学加工技术的发展。
【机 构】
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核工业西南物理研究院
【出 处】
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第十三届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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2007年8期
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