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The investigation of Al-based sputtering target by novel powder metallurgy method and its thin film
【机 构】
:
SolarApplied Materials Technology Corp,No.1,Gongye 3rd Rd.,Annan Dist.,Tainan City 70995,Taiwan
【出 处】
:
2013年全国粉末冶金学术会议及海峡两岸粉末冶金技术研讨会
【发表日期】
:
2013年期
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