【摘 要】
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以硝酸锌水溶液、醇水溶液、表面活性剂op-10水溶液及醇水op-10混合液作电解液，采用阴极恒电流法，在透明导电玻璃(ITO)衬底上沉积制备出了ZnO薄膜。研究了电沉积过程中电解液组分对薄膜的形成、结构和性能的影响。通过对电解液阴极极化曲线、薄膜X射线衍射的分析得出：乙醇和表面活性剂的加入使阴极极化增加，晶粒细化，薄膜内应力减小，薄膜结晶质量提高;原子力显微镜观察显示加入乙醇和表面活性剂后薄膜表面
【机 构】
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燕山大学环境与化学工程学院,秦皇岛 066004 燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室,秦皇岛 066004
【出 处】
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2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会
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以硝酸锌水溶液、醇水溶液、表面活性剂op-10水溶液及醇水op-10混合液作电解液，采用阴极恒电流法，在透明导电玻璃(ITO)衬底上沉积制备出了ZnO薄膜。研究了电沉积过程中电解液组分对薄膜的形成、结构和性能的影响。通过对电解液阴极极化曲线、薄膜X射线衍射的分析得出：乙醇和表面活性剂的加入使阴极极化增加，晶粒细化，薄膜内应力减小，薄膜结晶质量提高;原子力显微镜观察显示加入乙醇和表面活性剂后薄膜表面粒径更加均匀，粗糙度减小;光学性能测试表明：添加乙醇和表面活性剂后薄膜在紫外光区的吸收更强且宽泛，吸收峰发生红移，在可见光区的透过率大幅度增加。
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