将描述电磁波的Maxwell 方程组和简化的等离子体流体方程组耦合数值求解，对微波电离大气产生等离子体的过程进行了模拟研究。对于单束微波大气击穿，发现在高气压产生的等离子体为分离的丝状结构，中等气压下等离子体为分离的片状或“鱼骨”形结构，低气压下等离子体为连续区域。等离子体区域在垂直于电场方向和平行于电场方向的移动规律不同，后者由于等离子体两端存在强场区，等离子体区域在高气压下沿电场方向被拉长。对于垂直相交相干微波束，只有当初始电子出现在(或到达)强场(干涉加强)处，电子才会被加速并与本底气体发生碰撞电离，在放电的开始阶段，等离子体区域主要沿着强场区运动，并逐渐形成一个由分立的丝状等离子体组成的带状区域。这个带状等离子体区域足够长以后，将等离子体两侧的两束微波分割开，随着时间的推移，在等离子体附近的强场区，先后出现新的等离子体带。比较发现，当其他条件相同时，相干束产生的等离子体区域比非相干束大。