海藻兰表面采用磁控溅射沉积纳米银及其抗菌性研究

来源 :第十五届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ld2001

【摘要】

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　　本文介绍采用磁控溅射的方法，以纯度为99.99％的Ag作为溅射靶材，在海藻兰薄膜沉积纳米银薄膜.通过台阶仪对薄膜厚度进行测量，计算出纳米银的沉积速率，通过X射线衍射仪(XRD)对所

【作者】

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杨丽珍李玉玲费斐贺艳陈强

【机构】

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北京印刷学院等离子体物理材料实验室,北京102600

【出处】

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第十五届全国等离子体科学技术会议

【发表日期】

：

2011年8期

【关键词】

：

海藻兰磁控溅射灭菌性能

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　　本文介绍采用磁控溅射的方法，以纯度为99.99％的Ag作为溅射靶材，在海藻兰薄膜沉积纳米银薄膜.通过台阶仪对薄膜厚度进行测量，计算出纳米银的沉积速率，通过X射线衍射仪(XRD)对所制备纳米银样品的晶体结构分析，利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对纳米银薄膜的表面形貌及纳米Ag颗粒的大小、分布进行分析.

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