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本文介绍采用磁控溅射的方法,以纯度为99.99%的Ag作为溅射靶材,在海藻兰薄膜沉积纳米银薄膜.通过台阶仪对薄膜厚度进行测量,计算出纳米银的沉积速率,通过X射线衍射仪(XRD)对所制备纳米银样品的晶体结构分析,利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对纳米银薄膜的表面形貌及纳米Ag颗粒的大小、分布进行分析.