本研究采用一次合成工艺制备PZN-PZT压电陶瓷，并分析了Nb离子缺位、微量添加元素、电极制备工艺等对陶瓷压电性能的影响。采用流延工艺制备独石型叠层致动器，探讨温度对器件性能的影响，并分析了器件的微观组织。结果表明：Nb缺位可大幅度降低材料的烧结温度，而添加Ca、Sr、Ba、La、K、Ni、Co、Fe等元素提高材料的性能。电极烧成气氛对材料的性能影响大，还原气氛烧银的性能为：居里温度Tc=340℃，压电常数如=427 pC/N，介电常数Tε33/ε0=1750，机电耦合系数kp=0.72，介电损耗tanδ=0.014;氧化气氛烧银的d33约为500 pC/N，比还原气氛烧银的压电常数约高20％。独石型压电致动器的最大位移量达1.1‰，其介电常数和介电损耗在180℃以下基本保持不变。