MEMS器件的辐照效应和加固技术研究现状

来源 :第八届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:itour123
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随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展及其在航天领域的应用,对MEMS器件辐照效应的研究逐渐深入,本文介绍了国际上的有关研究工作,主要包括SandiaLab.、NRL、JPL.、JPL&RSC、LosAlamosNationalLab.等七篇公开发表的论文,时间跨度从1996年到2003年底,主要介绍了相关试验结果和辐照机理分析、加固技术的探索等,并预测了下一阶段的研究方向.
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