毫米波波导元件脉冲镀金工艺研究

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一、前言毫米波波导元件和微波波导元件一样,电镀的主要目的是为了改善电性能。为此,对电镀涂复层就提出了一些特殊的要求:1.电阻率要低,2.表面光洁度要高;3.镀层均匀性要好;4.结晶细致、孔隙率低防护性好;5.对责金属应尽量减薄镀层厚度,但又要求厚度大于电波传播的集肤深度等。对于微波波导来说,国内是采用镀银来满足上述要求的。毫米波波导元件和微波元件不同点在于:1.频率更高;2.波导的尺寸变小精度更高,如8mm 波导其工作频率为26.4~40.0千兆赫(GHz),内腔尺寸为7.111±0.02×3.556±0.02mm。频率愈高其集肤深度就愈小,对波导电镀的 I. INTRODUCTION Millimeter Waveguide Elements Like microwave waveguide elements, the primary purpose of plating is to improve electrical performance. To this end, the electroplating coating layer made some special requirements: 1. Resistivity is low, 2. Surface finish is high; 3. Coating uniformity is better; 4. Crystallization, low porosity and good protective; Responsible metal should be as thin as possible to reduce the coating thickness, but also require the skin depth greater than the thickness of the wave propagation. For the microwave waveguide, the domestic use of silver to meet the above requirements. The differences between a millimeter wave waveguide element and a microwave element are as follows: 1. Higher frequency; 2. The size of the waveguide becomes smaller and more precise; for example, the operating frequency of the 8 mm waveguide is 26.4-40.0 GHz and the cavity dimension is 7.111 0.02 × 3.556 ± 0.02 mm. The higher the frequency of the skin depth is smaller, the waveguide plating
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