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本文讲述了用场发射扫描电镜的扫描透射模式观察MEVVA(金属蒸汽真空弧)离子源钨离子注入聚酯(PET)膜的横截面的超薄切片.当注量为2×1017cm-2时,发现注入层的表面有一层钠米颗粒.通过对比该样品放入加速电压为100kV的普通透射电镜观察结果,表明场发射扫描电镜的扫描透射模式对于待观察的样品具有良好的穿透性,足够的的分辨率和放大倍数.在微区成分分析时可以如预期地得到一个较好的元素成分分析空间分辨率.且该方法充分发挥了场发射电子枪高亮度、电子束直径小的优势.