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随着微电子机械系统(MEMS)技术迅速发展,微流体技术逐渐成为MEMS研究的热点之一.本文回顾了近十年来微流体技术的研究进展情况,主要包括微流体装置及组件、微流体系统等;并指出了微流体技术面临的一些困难.最后对微流体技术的发展进行了展望.
基于MEMS的微流体技术研究
【摘 要】
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随着微电子机械系统(MEMS)技术迅速发展,微流体技术逐渐成为MEMS研究的热点之一.本文回顾了近十年来微流体技术的研究进展情况,主要包括微流体装置及组件、微流体系统等;并指
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院,陕西,西安,710071
【出 处】
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2005年全国测控、计量、仪器仪表学术年会
【发表日期】
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2005年期
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