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采用理论计算和专用计算机辅助设计软件,研究了膜桥结构RF MEMS开关梁的厚度、长度、弹性系数和空气间隙等结构参数对阈值电压的影响.通过模拟分析四种结构膜桥结构的开关阈值电压,提出了开关膜桥结构优化设计的初步考虑.
膜桥RF MEMS开关阈值电压的模拟分析及在结构优化设计中的初步应用
【摘 要】
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采用理论计算和专用计算机辅助设计软件,研究了膜桥结构RF MEMS开关梁的厚度、长度、弹性系数和空气间隙等结构参数对阈值电压的影响.通过模拟分析四种结构膜桥结构的开关阈值电压,提出了开关膜桥结构优化设计的初步考虑.
【机 构】
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北京大学微电子所(北京)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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